| 一种大过载集成加速度计的设计 |
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| 引用本文： | 王卫祺,郭涛,张文栋. 一种大过载集成加速度计的设计[J]. 测试技术学报, 2002, 16(Z1): 407-412 |
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| 作者姓名： | 王卫祺 郭涛 张文栋 |
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| 作者单位： | 1. 航天科技集团一院十四所
2. 华北工学院电子工程系 |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种新型的高过载弹道修正加速度计.这种加速度计由微机械工艺加工的硅微传感器和专用集成电路组成.其中专用集成电路包括温度补偿、滤波、电压/频率转换、电平调节和输入输出接口.硅微传感器的核心是一个悬浮的硅质量块,被四根悬臂梁支撑在硅架中.由于压阻效应,当硅质量块运动时,悬臂梁的电阻值将随之改变.敏感头放于硅基底和覆盖层之间的空腔中,使传感器能够抗高过载.
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| 关 键 词： | 加速度计 压敏电阻 温度补偿 |
| 修稿时间： | 2002-03-23 |
Research on High Overloading Integrated Digital Accelerometer |
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| Weiqi Wang,Tao Guo,Wendong Zhang. Research on High Overloading Integrated Digital Accelerometer[J]. Journal of Test and Measurement Techol, 2002, 16(Z1): 407-412 |
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| Authors: | Weiqi Wang Tao Guo Wendong Zhang |
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| Abstract: | |
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