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化学沉积法制备CdS薄膜及性质研究
引用本文:张辉,杨德仁,马向阳,阙端麟. 化学沉积法制备CdS薄膜及性质研究[J]. 太阳能学报, 2003, 24(1): 1-4
作者姓名:张辉  杨德仁  马向阳  阙端麟
作者单位:浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027
基金项目:国家 8 63项目 ( 2 0 0 1AA5 13 0 2 3 )
摘    要:利用化学沉积(CBD)的方法制备立方相的CdS薄膜。实验表明,在无搅拌、柠檬酸钠作为络合剂的条件下,在溶液的配方为0.02mol/L的CdCl2、0.02mol/L的柠檬酸钠、0.05mol/L的CS(NH2)2的体系中,当pH值为11.5,溶液温度为80℃时,在ITO玻璃上沉积得到CdS薄膜的前驱体,再把所得的前驱体在350℃,N2保护下热处理两个小时经x射线衍射(xRD)和扫描电镜分析,表面薄膜是结晶良好、立方相、表面均匀光滑的CdS薄膜。随着热处理温度的提高,CdS薄膜的晶化程度有很大的提高,晶粒有明显的长大,其光学性能也有很大的改善。

关 键 词:CdS 化学沉积 柠檬酸钠
文章编号:0254-0096(2003)01-0001-04
修稿时间:2002-03-12

CdS THIN FILMS FABRICATED BY CHEMICAL BATH DEPOSITION
Zhang Hui,Yang Deren,Ma Xiangyang,Que Duanling. CdS THIN FILMS FABRICATED BY CHEMICAL BATH DEPOSITION[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 2003, 24(1): 1-4
Authors:Zhang Hui  Yang Deren  Ma Xiangyang  Que Duanling
Abstract:
Keywords:CdS  CBD  sodium citrate
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