| 微机电系统(MEMS)磨损的分形分析 |
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| 引用本文： | 熊翔,周焱,朱建新.微机电系统(MEMS)磨损的分形分析[J].润滑与密封,2008,33(6):63-66. |
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| 作者姓名： | 熊翔 周焱 朱建新 |
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| 作者单位： | 1. 湖南科技职业学院机电工程与技术系,湖南长沙,410004
2. 中南大学机电工程学院,湖南长沙,410083 |
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| 摘 要： | 基于M-B分形磨损模型,建立微机电系统(MEMS)表面磨损率与分形维数之间的关系,对MEMS表面的磨损规律与表面特性进行相关分析.结果表明,分形维数对MEMS表面磨损率的影响具有一定的规律性,当分形维数在某一范围时,磨损率随着分形维数的减小而迅速增大;当分形维数为1.5时,磨损率达到最小值.当分形维数一定时,磨损率随着尺度系数、磨损概率常数的增大而增加,随着MEMS材料性能参数的增大而减小.当其它影响参数保持一定时,磨损率随着MEMS表面接触面积的增大而增加.
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 磨损 分形 磨损率 |
| 文章编号： | 0254-0150(2008)6-063-4 |
| 修稿时间： | 2007年9月3日 |
Fractal Analysis of the Wear in Micro-electro-mechanical Systems(MEMS) |
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| Xiong Xiang,Zhou Yan,Zhu Jianxin.Fractal Analysis of the Wear in Micro-electro-mechanical Systems(MEMS)[J].Lubrication Engineering,2008,33(6):63-66. |
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| Authors: | Xiong Xiang Zhou Yan Zhu Jianxin |
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