| 基于减小间隙极限环的超精密机床伺服控制技术研究 |
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| 引用本文： | 张晶,王立松,李生,苏宝库. 基于减小间隙极限环的超精密机床伺服控制技术研究[J]. 组合机床与自动化加工技术, 2001, 0(7): 11-12 |
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| 作者姓名： | 张晶 王立松 李生 苏宝库 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学, |
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| 摘 要： | 通过分析超精密机床伺服控制系统的特性,得出系统中传动部件的间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因.为补偿间隙的影响,本文提出了在不改变原有的控制器基础上,通过引入速度反馈而减小间隙极限环的方法.将该方法应用于实际系统中,得到了闭环定位时系统的最大稳态输出误差不超过±40nm的控制精度.
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| 关 键 词： | 超精密机床 间隙非线性环节 极限环 |
| 文章编号： | 1001-2265(2001)07-0011-03 |
| 修稿时间： | 2001-02-27 |
Research of precision machine tool servo control technique based on the reduction of the limit cycle amplitude of backlash |
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| ZHANG Jing WANG Lisong LI Sheng SU Baoku. Research of precision machine tool servo control technique based on the reduction of the limit cycle amplitude of backlash[J]. Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique, 2001, 0(7): 11-12 |
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| Authors: | ZHANG Jing WANG Lisong LI Sheng SU Baoku |
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| Affiliation: | ZHANG Jing WANG Lisong LI Sheng SU Baoku |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | precision machine tool non linear backlash element limit cycle |
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