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| 锆铝吸气泵的设计计算及性能试验研究 | |
| 作者姓名： | 曹成喜 王向远 黄秀英 |
| 作者单位： | 沈阳真空技术研究所(曹成喜，王向远)，沈阳真空技术研究所(黄秀英) |
| 摘 要： | 一、前言 锆铝吸气泵是近十年发展起来的用一种非蒸散性吸气材料(84%Zr—16?合金)在不同温度下吸附活性气体的新型泵。此泵结构简单、体积小、造价低、操作安全可靠、维修方便、清洁无油,然而对活性气体尤其是对H2具有很大的抽气能力。但这种泵不能抽惰性气体。 锆铝吸气泵对H2及其同位素的吸气作用是可逆的,对H2抽速在10-10～10-2托这样宽的压强范围内几乎保持恒定(1)。对其他活性气体,如CO、CO2、O2、N2、H2O的吸气是以稳定的化合物扩散到吸气剂体内,则存在着饱和寿命问题,其抽速在低于10-5托压强,400 工作温度下几乎恒定到饱和为… |
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