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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
稀土Dy掺杂ZnTe薄膜光学性能及其XPS研究
作者姓名:
李忠贤
王呼生
刘永生
张海霞
周涛
作者单位:
内蒙古医科大学物理教研室;内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室;内蒙古医科大学计算机信息学院;内蒙古大学物理科学与技术学院;
基金项目:
内蒙古自治区半导体光伏技术重点实验室开放课题资助项目(2013ND1015);内蒙古自治区重大基础研究开放课题(20130902)
摘 要:
本文采用真空蒸发法,在玻璃衬底上制备了稀土元素Dy掺杂的ZnTe薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计、XPS对薄膜的物相结构、表面形貌、光学特性、元素成分等进行了测试。XRD测试结果表明,薄膜的结构均为立方晶系闪锌矿结构,择优取向为(111)晶面,Dy掺杂会使(111)峰强减弱;透射光谱表明Dy掺杂会使薄膜的光学带隙减小;XPS分析表明,薄膜的主要成分为ZnTe,掺杂后Zn和Te的特征峰均向高能端发生移动。。
关 键 词:
真空蒸发
ZnTe薄膜
Dy掺杂
XPS
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