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| 气敏器件用SnO_2薄膜材料 | |
| 引用本文： | 张志勇,王雪文,周水仙,曹子祥.气敏器件用SnO_2薄膜材料[J].电子元件与材料,1999,18(4):16-17. |
| 作者姓名： | 张志勇 王雪文 周水仙 曹子祥 |
| 作者单位： | 1. 西北大学电子科学系,西安,710069;西安理工大学电子工程系,西安,710048 2. 西北大学电子科学系,西安,710069;中科院西安光机所,西安,710068 3. 西北大学电子科学系,西安,710069 |
| 基金项目： | 陕西省教委自然科学基金 |
| 摘 要： | 采用溶胶－凝胶法以ＳｎＣｌ２·Ｈ２Ｏ和ＺｒＯＣｌ２·８Ｈ２Ｏ为原料，制备出性能优良的纳米ＳｎＯ２薄膜材料。用Ｘ射线衍射仪分析了晶相，ＴＥＭ分析了微观结构。研究了掺杂、处理温度等对其性能的影响。在此基础上制作了ＳｎＯ２薄膜气敏器件，并检测了其气敏特性。 |
| 关 键 词： | 溶胶－凝胶方法 SnO_2薄膜 气敏特性 |
SnO2 film material for gas sensors |
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| Zhang zhiyong,Wang xuewen,Zhou shuixian,Cao Zixiang.SnO2 film material for gas sensors[J].Electronic Components & Materials,1999,18(4):16-17. | |
| Authors: | Zhang zhiyong Wang xuewen Zhou shuixian Cao Zixiang |
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| Keywords: | |
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