| 温度对悬臂梁静电驱动RF-MEMS开关性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 张沛然,朱健,姜理利. 温度对悬臂梁静电驱动RF-MEMS开关性能的影响[J]. 固体电子学研究与进展, 2014, 0(1) |
| |
| 作者姓名： | 张沛然 朱健 姜理利 |
| |
| 作者单位： | 南京电子器件研究所;微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室; |
| |
| 摘 要： | 介绍了温度对悬臂梁式RF-MEMS开关的影响。以南京电子器件研究所研制的悬臂梁式RF-MEMS开关为实验样品,常温下(25°C)先测定样品的驱动电压和射频特性,再将样品置于温度恒定的烘箱中热烘1h,取出后在常温条件下测定其机械形貌及电学性能。烘箱的温度从50°C变化到200°C,步进50°C。针对每个温度做一轮实验,最后将所得数据进行对比。实验结果表明,温度对于开关的射频性能影响极其微弱,但驱动电压对于温度却有较强的依赖性。分析认为,当温度变化时,悬臂梁结构的翘曲是影响驱动电压变化的主要因素。最后提出了几种可以提高结构温度稳定性的方法。
|
| 关 键 词： | 射频-微电子机械系统开关 温度 悬臂梁 驱动电压 |
Temperature Influence on the Performances of Electrostatic Cantilever RF-MEMS Switch |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
