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| MEMS跨越“借用”封装的时代 | |
| 作者姓名： | Sally Cole Johnson |
| 作者单位： | Semiconductor International |
| 摘 要： | 在过去十年里,微机电系统(MEMS)大量地“借用”那些起初是为军方高可靠性应用而开发的封装技术。虽然这类封装在MEMS中 |
| 关 键 词： | MEMS器件 封装技术 微机电系统 晶圆级封装 高可靠性 流体技术 类封装 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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