| 金铬薄膜的飞秒激光烧蚀加工 |
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| 引用本文： | 杨成娟,梅雪松,王文君,姜歌东,王恪典,丁明江. 金铬薄膜的飞秒激光烧蚀加工[J]. 红外与激光工程, 2011, 40(1): 61-65 |
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| 作者姓名： | 杨成娟 梅雪松 王文君 姜歌东 王恪典 丁明江 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械工程学院,陕西,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，国家科技部"973"项目，中国博士后基金资助项目，西安交通大学校内基金资助项目 |
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| 摘 要： | 着重从实验角度对飞秒激光烧蚀金属薄膜所得直线微槽的形状尺寸与实验加工参数之间的控制规律进行了研究.对使用频率为1kHz、波长为800nm、脉宽为30fs的超短脉冲激光在150nm厚的金铬薄膜上直线扫描所得微结构进行观察,发现:改变聚焦物镜的数值孔径(NA)、激光功率、扫描速率以及重复扫描次数等实验参数,均会对加工所得微...
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| 关 键 词： | 飞秒激光 金铬薄膜 微槽线宽 前向烧蚀 后向烧蚀 |
Femtosecond laser ablation on gold-chromium film |
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| Yang Chengjuan,Mei Xuesong,Wang Wenjun,Jiang Gedong,Wang Kedian,Ding Mingjiang. Femtosecond laser ablation on gold-chromium film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2011, 40(1): 61-65 |
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| Authors: | Yang Chengjuan Mei Xuesong Wang Wenjun Jiang Gedong Wang Kedian Ding Mingjiang |
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