| 氮气流量对电弧离子镀CrN薄膜组织结构和性能的影响 |
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| 引用本文： | 范喜迎,黄美东,李洪玉,刘野,许世鹏,薛利,潘玉鹏.氮气流量对电弧离子镀CrN薄膜组织结构和性能的影响[J].真空,2013,50(3). |
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| 作者姓名： | 范喜迎 黄美东 李洪玉 刘野 许世鹏 薛利 潘玉鹏 |
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| 作者单位： | 天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300387 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，天津师范大学大学生创新创业训练计划资助项目 |
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| 摘 要： | 利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构.实验结果表明,氮气流量对CrN薄膜的组织结构和力学性能都具有较为明显的影响.
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| 关 键 词： | 电弧离子镀 CrN薄膜 氮气流量 结构 性能 |
Influence of N2 flow on structure and properties of CrN films by arc ion plating |
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| FAN Xi-ying,HUANG Mei-dong,LI Hong-yu,LIU Ye,XU Shi-peng,XUE Li,PAN Yu-peng.Influence of N2 flow on structure and properties of CrN films by arc ion plating[J].Vacuum,2013,50(3). |
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| Authors: | FAN Xi-ying HUANG Mei-dong LI Hong-yu LIU Ye XU Shi-peng XUE Li PAN Yu-peng |
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