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| 带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺 | |
| 引用本文： | 张炎 林鸿溢. 带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺[J]. 传感器与微系统, 1994, 0(1): 29-32 |
| 作者姓名： | 张炎 林鸿溢 |
| 作者单位： | 北京理工大学电子工程系(张炎)，北京理工大学电子工程系(林鸿溢) |
| 摘 要： | 对带质量块的悬臂梁加速度传感器的特殊工艺:硅梁及形状控制的各向异性腐蚀,梁厚的精确控制、双面光刻、有孔硅片匀胶等技术进行了研究,为批量生产克服了工艺障碍。 |
| 关 键 词： | 加速度传感器 悬臂梁 各向异性腐蚀 |
Special Processes in Fabricated Si Cantilever Beam Accelerometer with Proof Mass |
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