| 铝铜合金对LED芯片电极可靠性的影响 |
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| 引用本文： | 华斌,黄慧诗,闫晓密,张秀敏,贾美琳.铝铜合金对LED芯片电极可靠性的影响[J].半导体技术,2018,43(7):550-554,560. |
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| 作者姓名： | 华斌 黄慧诗 闫晓密 张秀敏 贾美琳 |
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| 作者单位： | 江苏新广联半导体有限公司,江苏无锡,214192;江苏新广联半导体有限公司,江苏无锡,214192;江苏新广联半导体有限公司,江苏无锡,214192;江苏新广联半导体有限公司,江苏无锡,214192;江苏新广联半导体有限公司,江苏无锡,214192 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划资助项目(2016YFB0400900) |
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| 摘 要： | 发光二极管(LED)芯片反射电极中铝的稳定性对芯片的可靠性至关重要,少量铜的加入可改善铝的耐电流性.理论计算了电子柬蒸镀沉积时,镀源和镀膜中铜质量分数的对应关系.对纯铝和不同铜质量分数的铝铜合金进行了金属线耐电流测试和薄膜反射率测试,并对纯铝或铝铜合金电极的LED芯片进行了老化测试.结果表明,相对于纯铝电极结构,铜质量分数为2％的铝铜合金电极在几乎不影响反射率的前提下,可显著提高电极的耐电流性能.以铝铜合金为电极的LED芯片在老化过程中,可有效阻止铝的电迁移,从而显著提升了LED芯片的可靠性.
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| 关 键 词： | 铝铜合金 LED芯片 反射电极 可靠性 电迁移 电子束蒸镀 |
Effects of Al-Cu Alloys on the Reliability of LED Chip Electrodes |
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| Hua Bin,Huang Huishi,Yan Xiaomi,Zhang Xiumin,Jia Meilin.Effects of Al-Cu Alloys on the Reliability of LED Chip Electrodes[J].Semiconductor Technology,2018,43(7):550-554,560. |
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| Authors: | Hua Bin Huang Huishi Yan Xiaomi Zhang Xiumin Jia Meilin |
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