| 微米纳米学会推荐-基于电学修正多晶硅纳米薄膜的压力传感器 |
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| 引用本文： | 陆学斌,孙 伟,于 斌.微米纳米学会推荐-基于电学修正多晶硅纳米薄膜的压力传感器[J].传感技术学报,2022,35(10):1335-1339. |
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| 作者姓名： | 陆学斌 孙 伟 于 斌 |
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| 作者单位： | 湖州职业技术学院物流与信息工程学院；湖州职业技术学院建筑工程学院；哈尔滨理工大学计算机科学与技术学院 |
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| 基金项目： | 黑龙江省自然科学基金项目（No.F2018018）；湖州职业技术学院校级教师创新团队项目（No.2021023）;湖州职业技术学院引进人才科研专项课题(No.2022-2021023) |
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| 摘 要： | 为了进一步提高多晶硅纳米薄膜压力传感器的性能，本文使用80nm厚度的多晶硅纳米薄膜作为压力传感器的压敏电阻，设计制作了一款压力传感器。压力传感器制备封装完毕后，利用电学修正技术使多晶硅纳米薄膜压敏电阻更精确地匹配。本文对压力传感器的制备流程进行了完整描述，在25℃至200℃的温度范围内，测试了压力传感器的性能。压力传感器的满量程为0.6MPa，在25℃和200℃时，灵敏度分别为22.19mV/V/MPa和18.30mV/V/MPa；在没有外界补偿的情况下，灵敏度的温度系数约为?0.10%/℃。在25℃和200℃时，失调分别是1.653mV和1.615mV, 失调的温度系数约为?0.013%/℃. 由于电学修正多晶硅纳米薄膜具有良好的压阻特性和温度稳定性，压力传感器表现出较好的性能。
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| 关 键 词： | 电子科学与技术 压力传感器 多晶硅纳米薄膜 电学修正 压阻特性 |
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