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真空微电子技术
引用本文:陈中洲.真空微电子技术[J].半导体技术,1991(1):57-59.
作者姓名:陈中洲
作者单位:锦州七七七厂高可靠产品研究所
摘    要:本文简要介绍真空微电子管的优越性及近两年来的水平,建议我们今后应做的几项工作。

关 键 词:真空  微电子技术  微电子管
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