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| 铌酸锂薄膜高速电光开关的设计与制备 | |
| 引用本文： | 唐杰,王子彦,钱坤,何晓舟,潘时龙,王琛全,顾晓文,钱广,孔月婵,陈堂胜.铌酸锂薄膜高速电光开关的设计与制备[J].光电子技术,2023(1):7-10+16. |
| 作者姓名： | 唐杰 王子彦 钱坤 何晓舟 潘时龙 王琛全 顾晓文 钱广 孔月婵 陈堂胜 |
| 作者单位： | 1. 微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室;2. 南京电子器件研究所;3. 南京航空航天大学电子信息工程学院;4. 空军装备部上海局 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划资助项目（2022YFB2802702）； |
| 摘 要： | 基于硅基铌酸锂薄膜（Lithium Niobate on insulator,LNOI）材料平台，设计并制备了高速电光开关芯片，并实现了芯片的光纤耦合、管壳封装和性能测试。测试结果表明，该高速电光开关器件的开关速度达到13.4 ns，消光比达到31.8 dB。研究工作对未来研制光学延时芯片和波束形成网络芯片具有重要的支撑意义。 |
| 关 键 词： | 铌酸锂薄膜 电光开关 光学波束形成 |