柔性衬底上AZO薄膜的生长及表征 |
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引用本文: | 李晓妮,方铉,陈新颖,方芳,魏志鹏,李金华,楚学影.柔性衬底上AZO薄膜的生长及表征[J].长春理工大学学报,2013,36(1). |
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作者姓名: | 李晓妮 方铉 陈新颖 方芳 魏志鹏 李金华 楚学影 |
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作者单位: | 长春理工大学,长春130022;中科院西安光学精密机械研究所,西安710000;长春理工大学,长春,130022 |
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基金项目: | 国家自然科学基金;国家重点实验室基金;高等学校博士学科点专项科研基金;吉林省自然科学基金;吉林省科技发展计划;吉林省教育厅项目;长春市国际科技合作项目 |
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摘 要: |
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关 键 词: | ALD ZnO薄膜 柔性衬底 |
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