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| 柔性衬底上AZO薄膜的生长及表征 | |
| 引用本文： | 李晓妮,方铉,陈新颖,方芳,魏志鹏,李金华,楚学影.柔性衬底上AZO薄膜的生长及表征[J].长春理工大学学报,2013,36(1). |
| 作者姓名： | 李晓妮 方铉 陈新颖 方芳 魏志鹏 李金华 楚学影 |
| 作者单位： | 长春理工大学,长春130022;中科院西安光学精密机械研究所,西安710000;长春理工大学,长春,130022 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点实验室基金;高等学校博士学科点专项科研基金;吉林省自然科学基金;吉林省科技发展计划;吉林省教育厅项目;长春市国际科技合作项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | ALD ZnO薄膜 柔性衬底 |
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