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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
柔性衬底上AZO薄膜的生长及表征
作者姓名:
李晓妮
方铉
陈新颖
方芳
魏志鹏
李金华
楚学影
作者单位:
长春理工大学,长春130022;中科院西安光学精密机械研究所,西安710000;长春理工大学,长春,130022
基金项目:
国家自然科学基金;国家重点实验室基金;高等学校博士学科点专项科研基金;吉林省自然科学基金;吉林省科技发展计划;吉林省教育厅项目;长春市国际科技合作项目
摘 要:
关 键 词:
ALD
ZnO薄膜
柔性衬底
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