双辉低温(560℃)等离子渗铬的工艺研究 |
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作者姓名: | 郑英 高原 |
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作者单位: | 桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林 541004;湖南交通职业技术学院,长沙 410004;桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林,541004 |
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基金项目: | 国家自然科学基金,上海宝钢集团公司资助项目,广西研究生创新项目,广西自然科学基金 |
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摘 要: | 采用离子氮化 双辉等离子渗铬的复合工艺(首先对T10钢进行550℃x8h离子氮化,再进行560℃双辉等离子渗铬,渗铬完成后试样随炉冷却),研究了源极电压、阴极电压、极间距、工作气压、预氮化保温时间、渗铬保温时间等工艺参数对双辉等离子渗铬的影响,得出了本工艺条件下的最佳工艺参数.结果表明,在8h预氮化极间距50~60mm,阴极电压-275~325V、源极电压-750~-850V、渗铬气压25~35Pa的工艺条件下,渗层厚度约30μm,沉积层铬浓度达55%以上,扩散层铬浓度呈梯度分布;渗层由沉积层 扩散层组成,沉积层组织致密,与基体结合紧密,扩散层晶粒细小,碳化物弥散,不改变试样原始的基体组织;经X射线衍射分析,表层物相由Fe-Cr、CrN、Cr7C3、Cr23C6等组成,表面硬度达1000~1250HV,且呈梯度分布.
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关 键 词: | 碳素工具钢 低温 双辉等离子渗铬 |
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