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| (Li,Mg)∶ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及特性表征 | |
| 引用本文： | 张彩珍,刘肃,王永顺,刘春娟.(Li,Mg)∶ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及特性表征[J].半导体技术,2010(7). |
| 作者姓名： | 张彩珍 刘肃 王永顺 刘春娟 |
| 作者单位： | 兰州大学物理科学与技术学院;兰州交通大学电子与信息工程学院; |
| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶旋涂制膜方法制备了具有良好表面形貌及c轴择优取向性的(Li,Mg)∶ZnO薄膜。重点研究了该法制膜时不同膜厚(Li,Mg)∶ZnO薄膜的结构及光学性质。扫描电子显微镜(SEM)图像及X射线衍射(XRD)图谱分析结果表明随着膜厚的增加,薄膜晶粒尺寸逐渐增大,薄膜的晶化程度及c轴择优取向性增强。但薄膜厚度的增加是有一定范围的,当薄膜厚度过大时,薄膜均匀性、致密性及c轴择优取向性显著下降。样品的荧光光致发光(PL)谱表明,Mg的掺入使近紫外发光峰出现了蓝移,恰当膜厚的(Li,Mg)∶ZnO薄膜发光特性主要以深能级发射(DLE)为主,蓝绿发光峰强度很高。 |
| 关 键 词： | 薄膜 溶胶-凝胶 扫描电子显微镜 光致发光 |
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