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| 真空壁的辉光放电清洗 | |
| 作者姓名： | 傅积闿 郭德全 程珊华 秦品健 阮永田 谢纪康 |
| 作者单位： | 中国科学院等离子体物理研究所，中国科学院等离子体物理研究所，中国科学院等离子体物理研究所，中国科学院等离子体物理研究所，中国科学院等离子体物理研究所，中国科学院等离子体物理研究所 |
| 摘 要： | 实验证实了氢中直流辉光放电与室壁中等温度烘烤对清除真空容器表面碳的良好效果,对除去表面氧也有一定效果。探索了放电电流、气压、表面状况等各种因素对结果的影响。讨论了辉光放电时表面发生的解吸(物理的、化学的)与吸附等过程。 |
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