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工业反应过程的开发方法Ⅻ,CVD法超细粒子晶体组成及含量控制方法
引用本文:胡黎明,李春忠,陈敏恒,袁渭康. 工业反应过程的开发方法Ⅻ,CVD法超细粒子晶体组成及含量控制方法[J]. 石油化工, 1994, 0(6)
作者姓名:胡黎明  李春忠  陈敏恒  袁渭康
作者单位:华东理工大学技术化学物理研究所
摘    要:在CVD反应器中超细粒子粒度分布控制模型化研究的基础上,进一步探讨了CVD反应器中超细粒子的形成过程,详细分析了超细粒子的烧结和晶型转变,以此为基础建立了晶体组成及含量的控制模型,并进行了晶体组成及含量的模型化研究。从方法论角度分析,晶体组成及含量的模型化研究方法和粒子粒度分布的研究方法一致,但前者以后老的研究为基础,体现了序贯研究的基本思想。

关 键 词:化学气相淀积,超细粒子,模型,晶体组成

Methodology for the Development of Industrial Reaction ProcessesⅫ.Crystal Composite and Content Control in the CVD Process
Hu Liming, Li Chunzhong, Chen Minheng and Yuan Weikang. Methodology for the Development of Industrial Reaction ProcessesⅫ.Crystal Composite and Content Control in the CVD Process[J]. Petrochemical Technology, 1994, 0(6)
Authors:Hu Liming   Li Chunzhong   Chen Minheng  Yuan Weikang
Abstract:Based on the study of ultrafine particle size distrihution control model in CVD reactor,we further studied the ultrafine particle generation process, and analyzed the sintering andcrystal type change in detail.From these we established a model for the study of crystalcomposite and content control.From the point of view of methodology, the method used forthe crystal study is in agreement with that for the partical size distribution. However,theformer is based on the latter embodying the basic idea of sequential study.
Keywords:CVD reactor   crystal type   sintering   ultrafine particle
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