| B掺ZnO薄膜的制备及其光学性能研究 |
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| 引用本文： | 王玉新,刘佳慧,宋欣,蔺冬雪,李真.B掺ZnO薄膜的制备及其光学性能研究[J].光电子．激光,2021,32(10):1119-1123. |
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| 作者姓名： | 王玉新 刘佳慧 宋欣 蔺冬雪 李真 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学物理与电子技术学院,辽宁大连116029 |
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| 基金项目： | 辽宁省教育厅科学研究项目(LJ2019006)资助项目 (辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029) |
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| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶法(sol-gel)在玻璃和硅衬底上生长了B掺杂量分别为0 at％、0.5at％、1.0 at％、2.0 at％、3.0 at％、4.0 at％的ZnO薄膜.采用X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)、扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)、紫外-可见(ultraviolet-visible,UV-Vis)分光光度计等测试手段对薄膜的结构、形貌和光学性能进行了表征.结果 表明:所制备的样品在2θ=34.4°左右出现了ZnO晶体的(002)衍射峰,说明制得的样品具有六方纤锌矿结构.并且(002)衍射峰的半高宽先变小后变大,这说明衍射峰的强度是先加强后减弱,证明其晶粒尺寸是先增大后减小.当B掺杂量为3.0 at％时,样品沿(002)方向择优取向生长最为明显,薄膜上的晶粒生长均匀、致密.B掺氧化锌(BZO)薄膜在可见光区的透过率随B3+的掺杂量的增加先增加后减小,并出现轻微蓝移的现象.当掺入B3+的量为3.0 at％时,薄膜结晶质量最好,表面最为均匀、致密,透过率达到90％.
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| 关 键 词： | 薄膜 B掺杂 溶胶-凝胶法 光学性能 |
| 收稿时间： | 2021/1/6 0:00:00 |
Preparation and optical properties of B-doped ZnO thin films |
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| WANG Yuxin,LIU Jiahui,SONG Xin,LIN Dongxue and LI Zhen.Preparation and optical properties of B-doped ZnO thin films[J].Journal of Optoelectronics·laser,2021,32(10):1119-1123. |
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| Authors: | WANG Yuxin LIU Jiahui SONG Xin LIN Dongxue and LI Zhen |
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| Affiliation: | College of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian,Liaoning 116029,China,College of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian,Liaoning 116029,China,College of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian,Liaoning 116029,China,College of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian,Liaoning 116029,China and College of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian,Liaoning 116029,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin film B doping sol-gel method optical properties |
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