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光学微结构的超精密加工技术
引用本文:李荣彬,杜雪,张志辉,高栋,赵伟明. 光学微结构的超精密加工技术[J]. 纳米技术与精密工程, 2003, 1(1): 57-61
作者姓名:李荣彬  杜雪  张志辉  高栋  赵伟明
作者单位:香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心
基金项目:中华人民共和国香港特别行政区创新科技基金会资助项目(ITS/201/01)
摘    要:微结构光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛,采用多轴超精密机床加工光学微结构,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面光洁度的高精度水平,详细介绍了光学自由曲面及光学微结构的超精密加工技术,并开发了适合超精加工微型槽和微透镜列阵的刀具轨迹自动生成软件。

关 键 词:光学微结构 超精密加工 微型槽 刀具轨迹生成器 光学元件 自由曲面加工中心 微透镜阵列
文章编号:1672-6030(2003)01-0057-05
修稿时间:2003-05-31

Ultra-Precision Machining of Optical Microstructures
Lee W B,To S,Cheung C F,Gao D,Chiu W M. Ultra-Precision Machining of Optical Microstructures[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2003, 1(1): 57-61
Authors:Lee W B  To S  Cheung C F  Gao D  Chiu W M
Abstract:Optical microstructures are crucial to the development of complex and micro-optical-electro-mechanical devices used in many photonics products. The fabrication of high quality optical microstructures is based on ultra-precision freeform machining technology which allows direct machining of freeform surfaces with sub-micro-metric form accuracy and nanometric surface finish. The application of ultra-precision freeform machining to the fabrication of optical microstructures is addressed, and the methodologies for the development of the tool path generator for two optical products are discussed.
Keywords:ultra-precision machining  optical microstructure  tool path generator
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