| 介质保护铝基高反膜的激光损伤特性研究 |
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| 引用本文： | 苏俊宏,牛燕敏,侯妮妮,徐均琪.介质保护铝基高反膜的激光损伤特性研究[J].西安工业大学学报,2016(4):259-263,276. |
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| 作者姓名： | 苏俊宏 牛燕敏 侯妮妮 徐均琪 |
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| 作者单位： | 西安工业大学光电工程学院 |
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| 摘 要： | 激光系统中高反膜的抗激光诱导损伤能力限制激光器有效输出功率的提高.实验采用阻蒸法制备Al膜,采用轮廓仪测试薄膜厚度,利用lambda950测试光谱特性,在激光损伤测试仪上测试薄膜的激光损伤阈值.分析了沉积温度和厚度对薄膜光学特性和抗激光损伤能力的影响.研究结果表明:在不同沉积温度下,采用阻蒸法制备单层Al膜,当沉积温度为200℃时,在1 000~1 400nm波段的平均反射率达到95.59%,加介质保护膜后反射率提高到98%;随着膜层厚度的增加,其抗激光损伤阈值先降低再升高,沉积温度为200℃时,加介质保护膜的铝膜损伤阈值是单层铝膜的2倍;经零几率损伤激光能量辐照后,样片在1 000~1 400nm范围内的平均反射率降低了1%.
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| 关 键 词： | 金属膜 阻蒸法 沉积温度 膜层厚度 损伤阈值 |
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