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| 周期性纳米结构光散射分布的模拟仿真 | |
| 作者姓名： | 赵翔 高爱华 杨鹏飞 闫丽荣 王少刚 |
| 作者单位： | 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 |
| 摘 要： | 为得到离子束刻蚀蓝宝石所形成的周期性条纹状纳米结构光散射分布特性,采用有限元法多物理场建模与分析,运用射频模块,结合麦克斯韦电磁波理论,引用弗洛奎特周期性边界和端口激发条件,对一维周期性条纹状纳米结构的光散射场进行数值分析.研究结果表明:一维周期性条纹状纳米结构TE与TM波光散射场分布呈周期性;随入射角不断增大,散射场分布沿纵轴呈凸状逐渐增强,入射角达到π/5时,TE波呈圆斑状周期分布,TM波呈斜条纹状周期性分布;经过后处理可得同一入射角下不同级反射系数之和为定值. |
| 关 键 词： | 周期性纳米结构 电磁理论 散射场 反射系数 |
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