| 多晶硅太阳电池表面激光织构工艺研究 |
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| 引用本文： | 佘鹏,曾梦麟.多晶硅太阳电池表面激光织构工艺研究[J].材料导报,2012,26(24). |
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| 作者姓名： | 佘鹏 曾梦麟 |
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| 作者单位： | 湖南大学微纳光电子器件及应用教育部重点实验室,长沙,410082 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，宁波市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用激光刻蚀,辅以化学溶液腐蚀对多晶硅片进行了表面织构.利用扫描电镜(SEM)、Helios LAB-rc反射率测试仪和Semilab WT2000少子寿命仪对样品进行了表征.结果表明,多晶硅表面经激光织构后表现出很好的陷光效果,反射率降低为8.0％.激光织构使硅片的少子寿命缩短,通过沉积Al2O3钝化薄膜可改善多晶硅片的电学性能.
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| 关 键 词： | 多晶硅太阳电池 减反射 激光织构 |
Study on Laser Surface Texturization for Multi-crystalline Silicon Solar Cells |
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| SHE Peng
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ZENG Menglin.Study on Laser Surface Texturization for Multi-crystalline Silicon Solar Cells[J].Materials Review,2012,26(24). |
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| Authors: | SHE Peng ZENG Menglin |
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