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多点法机床主轴回转准确度测量系统中的关键技术
引用本文:张宇华,王晓琳,张国雄,李真. 多点法机床主轴回转准确度测量系统中的关键技术[J]. 仪器仪表学报, 1999, 20(5): 526-528,540
作者姓名:张宇华  王晓琳  张国雄  李真
作者单位:1. 北京理工大学光电工程系,北京,100081
2. 天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津,300072
基金项目:高等学校博士学科点专项科研基金
摘    要:本文研究多点法机床主轴回转运动准确度测量系统中的关键技术。以8阶Butterworth滤波器MAX291为核心改进了电容测微仪系统的动态测量电路,改进后的电容测微仪在±10μm的量程内,非线性误差最大不超过0.8%,重复性准确度优于0.15%,测量准确度优于0.1μm,频响范围达4.2kHz。研究了电容测微仪动态灵敏度及线形度的测试与标定方法。开发了符合方法要求的多路并行测量系统

关 键 词:动态测量 准确度 机床 主轴 多点法

The Key Techniques for a Multi-point Measuring System for the Error Motions of a Lathe Spindle
Zhang Yuhua,Wang Xiaolin,Zhang Guoxiong,Li Zhen. The Key Techniques for a Multi-point Measuring System for the Error Motions of a Lathe Spindle[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 1999, 20(5): 526-528,540
Authors:Zhang Yuhua  Wang Xiaolin  Zhang Guoxiong  Li Zhen
Affiliation:Zhang Yuhua Wang Xiaolin (Dep.of Optical Engineering Beijing Institute of Tech. Beijing 100081) Zhang Guoxiong Li Zhen (Precision Instrument and Opto|electronics Engineering College of Tianjin Univ. Tianjin 300072)
Abstract:
Keywords:Dynamic measurement Capacitance micrometer Frequency response Accuracy Calibration  
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