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| 坐标测量机高精度测头技术 | |
| 引用本文： | 孙涛,张龙江.坐标测量机高精度测头技术[J].制造技术与机床,2001(10):28-29,30. |
| 作者姓名： | 孙涛 张龙江 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 基金项目： | 哈尔滨青年科学基金“坐标测量机纳米精度瞄准测头的技术研究”(项目编号 :9961 2 1 80 1 0 )资助 |
| 摘 要： | 介绍了坐标测量机高精度测头的研究发展现状；分析了接触方式，光学方式，扫描方式测头的优缺点，研究了日本松下公司研制的高精度测头测量原理；基于原子力微探针的基本原理，设计了一种新型的坐标测量机测头，指出了采用原子力准接触技术是测头向高精度发展的方向之一。 |
| 关 键 词： | 三坐标测量机 测头 原子力微探针 |
High-Precision Probe Technology for CMM |
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| Abstract: | |
| Keywords: | CMM Probe Atomic-force Micro Probe |
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