| MEMS微悬臂梁在冲击环境下的可靠性 |
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| 引用本文： | 吕劲楠,唐洁影.MEMS微悬臂梁在冲击环境下的可靠性[J].功能材料与器件学报,2008,14(1):103-106. |
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| 作者姓名： | 吕劲楠 唐洁影 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 解放军总装备部预研项目 |
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| 摘 要： | 由于MEMS器件的可靠性成为MEMS产品商业化过程中一个重要问题,而冲击断裂是导致器件失效的一个重要原因.本文主要研究多晶硅微悬臂梁在冲击条件下的可靠性,文中阐述了断裂失效机理,并使用应力一强度模型对可靠度进行建模.通过实验统计在各种加速度冲击下的可靠度,并将实验实测值与理论值进行对比.
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| 关 键 词： | MEMS 冲击失效 可靠度 |
| 文章编号： | 1007-4252(2008)01-0103-04 |
| 修稿时间： | 2007年7月20日 |
Reliability for MEMS micro -cantilevers under shock load |
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| LV Jin-nan,TANG Jie-ying.Reliability for MEMS micro -cantilevers under shock load[J].Journal of Functional Materials and Devices,2008,14(1):103-106. |
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| Authors: | LV Jin-nan TANG Jie-ying |
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