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| 微机械测量子系统 | |
| 引用本文： | 徐国强,冯国强. 微机械测量子系统[J]. 中国测试技术, 2003, 29(1): 30-31 |
| 作者姓名： | 徐国强 冯国强 |
| 作者单位： | 空军工程大学工程学院,西安,710038 |
| 摘 要： | 本文主要介绍一种微机械测量子系统 ,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关。它尤其适用于光滑位移量的测量。例如 :象由压力和温度引起的物体变形量 ,或者在监测物体气密性时 ,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量。它也可用来监测集成模块的防水性。如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备 ,它就可应用于机器人系统中。 |
| 关 键 词： | 微机械式变换器 微触点测量 |
Micro mechanical measurement subsystem |
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