| 基于串行通讯协议宏的MOCVD反应室压力控制 |
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| 引用本文： | 胡晓宇,王建成,邹春艳. 基于串行通讯协议宏的MOCVD反应室压力控制[J]. 电子工业专用设备, 2008, 37(1): 38-41 |
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| 作者姓名： | 胡晓宇 王建成 邹春艳 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111 |
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| 摘 要： | 介绍了MKS压力控制系统的组成、651C控制器的通信命令参数、串行通信协议宏的构造方法。
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| 关 键 词： | MOCVD PLC 串行通信 协议宏 闭环控制 编程 |
| 文章编号： | 1004-4507（2008）01-0038-04 |
| 收稿时间： | 2008-01-05 |
| 修稿时间： | 2008-01-05 |
Serial Communication Protocol Macro Based Pressure Control for MOCVD Reactor |
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| HU Xiao-yu,WANG Jian-cheng,ZOU Chun-yan. Serial Communication Protocol Macro Based Pressure Control for MOCVD Reactor[J]. Equipment for Electronic Products Marufacturing, 2008, 37(1): 38-41 |
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| Authors: | HU Xiao-yu WANG Jian-cheng ZOU Chun-yan |
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| Abstract: | The composition of MKS pressure control system,the communication commands and parameters of 651C controller and the method on building serial communication protocol macro are all introduced. |
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| Keywords: | MOCVD PLC serial communication protocol macro closed-loop control programming |
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