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| AFM扫描图像重构算法的改进 | |
| 引用本文： | 袁帅,董再励,缪磊,席宁,王越超.AFM扫描图像重构算法的改进[J].纳米技术与精密工程,2009,7(3):259-264. |
| 作者姓名： | 袁帅 董再励 缪磊 席宁 王越超 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室,沈阳110016;中国科学院研究生院,北京100039 2. 中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室,沈阳,110016 3. 中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室,沈阳110016;密歇根州立大学电子和计算机工程系,美国密歇根州 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金重点项目，辽宁省博士科研启动基金 |
| 摘 要： | 针对原子力显微镜（AFM）纳米成像中存在的失真问题,研究了通过探针建模实现AFM扫描图像重构方法.目前探针盲建模算法在重构AFM图像时存在较大误差,因此提出基于探针模型预估计的AFM扫描图像重构方法.该方法采用分区探针针尖建模,并通过基于该探针模型的反卷积运算实现AFM扫描图像重构,获得比较接近真实形貌的AFM扫描图像.文中介绍了算法的具体步骤,通过仿真和实验结果证明,该方法能够有效降低AFM图像重构时引入的误差,得到的图像更能反映样品表面真实的形貌. |
| 关 键 词： | 原子力显微镜 多孔铝薄膜 探针盲建模 数学形态学 扫描图像 |
Improvement of Reconstruction Algorithm of AFM Scanning Images |
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| YUAN Shuai,DONG Zai-li,MIAO Lei,XI Ning,WANG Yue-chao.Improvement of Reconstruction Algorithm of AFM Scanning Images[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2009,7(3):259-264. | |
| Authors: | YUAN Shuai DONG Zai-li MIAO Lei XI Ning WANG Yue-chao |
| Affiliation: | 1.State Key Laboratory of Robotics;Shenyang Institute of Automation;Chinese Academy of Sciences;Shenyang 110016;China;2.Graduate University of the Chinese Academy of Sciences;Beijing 100039;3.Department of Electrical and Computer Engineering;Michigan State University;Michigan State;USA |
| Abstract: | Atomic force microscope(AFM) images contain distortions induced by the finite size of the tip.Reconstruction of the images allows one to remove the influence of tip shape and analyze the image at the nano-scale.However there are a lot of errors in the reconstruction of the image using blind tip evaluation,and these errors can be eliminated with the new method proposed in the paper based on pre-estimation of the tip.This method builds the tip model based on the zoning of the probe shape,and reconstructs the ... |
| Keywords: | atomic force microscope （AFM） porous alumina film blind tip evaluation math morphology scanning images |
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