| 硅微机械音叉式谐振器 |
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| 引用本文： | 钟莹,张国雄,郝一龙,贾玉斌.硅微机械音叉式谐振器[J].仪器仪表学报,2005,26(8):782-785. |
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| 作者姓名： | 钟莹 张国雄 郝一龙 贾玉斌 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室 天津300072
(钟莹，张国雄)，北京大学微电子学研究所 北京100871
(郝一龙)，北京大学微电子学研究所 北京100871(贾玉斌) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(50275108)资助。 |
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| 摘 要： | 应用体硅微机械加工技术,制作了一种双端固定音叉式谐振器。它在音叉的两个臂上连接了梳齿电容结构,用来驱动音叉臂在硅片平面内侧向、反相振动,同时检测音叉的振动频率。当驱动力的频率等于音叉的固有频率时,音叉产生谐振。此时,检测梳齿电容输出的电流最大。用有限元方法对谐振器进行了模态分析和结构优化。音叉臂长800μm,宽5μm,梳齿电容齿长25μm,结构层厚度为80μm,在30V交流电压激励下,测得其谐振频率为25kHz。当音叉受到轴向力的作用时,音叉的固有频率会发生变化,根据这一原理,设计了谐振式加速度计。用有限元分析软件对加速度计工作情况仿真,估算其灵敏度约为2Hz/g。这种音叉式谐振器结构和工艺简单,性能可靠,成本较低,对于进一步研究微机电系统谐振器件具有重要意义。
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| 关 键 词： | 微机电系统 音叉 谐振器 加速度计 体硅工艺 |
| 修稿时间： | 2003年12月1日 |
Silicon Micromachined Tuning Fork Resonator |
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| Zhong Ying Zhang Guoxiong Hao Yilong Jia Yubin.Silicon Micromachined Tuning Fork Resonator[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2005,26(8):782-785. |
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| Authors: | Zhong Ying Zhang Guoxiong Hao Yilong Jia Yubin |
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| Affiliation: | Zhong Ying~1 Zhang Guoxiong~1 Hao Yilong~2 Jia Yubin~2~1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS Tuning fork Resonator Accelerometer Silicon bulk micromachining |
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