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| PIN结光电二极管的工艺原理和制造 | |
| 引用本文： | 张健亮,陈康民.PIN结光电二极管的工艺原理和制造[J].中国集成电路,2004(9):72-74. |
| 作者姓名： | 张健亮 陈康民 |
| 作者单位： | 上海贝岭MBU分立器件研发部 |
| 摘 要： | PIN结构的二极管是一种特殊的电荷存储二极管,由于功耗小速度快等优点而被广泛应用.PIN结构的光电二极管是一种常用的光电探测器.本文阐述了PIN结构的光电二极管的器件特性和工艺制程,指出工艺过程中存在的问题. |
| 关 键 词： | 光电二极管 器件特性 PIN 光电探测器 制程 功耗 存储 速度 优点 电荷 |
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