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| 飞速发展的微电子技术 | |
| 引用本文： | 杨筱莉,张丽.飞速发展的微电子技术[J].微处理机,2002(4):3-4,13. |
| 作者姓名： | 杨筱莉 张丽 |
| 作者单位： | 东北微电子研究所,沈阳,110032 |
| 摘 要： | 介绍了微电子发展的最新技术动态。 |
| 关 键 词： | 微电子技术 场效应晶体管 纳米技术 单电子晶体管 单分子晶体管 生物芯片 |
High Developing Microeletronics Technique |
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| Yang Xiaoli,et al.High Developing Microeletronics Technique[J].Microprocessors,2002(4):3-4,13. | |
| Authors: | Yang Xiaoli |
| Abstract: | This paper presents the lastest advances of microelectronics technique. |
| Keywords: | MOSFET nanometer tech SET SMT biochip |
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