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声子极化激元干涉条纹周期的精密测量研究EI北大核心CSCD
作者姓名:尹志珺  王振兴  李荃  宋仁康  邓晓  雷李华
作者单位:1.同济大学物理科学与工程学院200092;2.同济大学精密光学工程技术研究所200092;3.先进微结构材料教育部重点实验室200092;4.上海市数字光学前沿科学研究基地200092;5.上海市全光谱高性能光学薄膜器件及应用专业技术服务平台200092;6.上海市计量测试技术研究院201203;
基金项目:国家自然科学基金面上项目(62075165,62175188);国家重点研发计划项目(2022YFF0605502);上海张江国家自主创新示范区专项发展资金重点项目(ZJ2021-ZD-008);上海市自然科学基金面上项目(23ZR1465800)。
摘    要:二维材料由于其独特的物理化学性质,对纳米光子学及光电子学的应用与发展具有重要研究价值。特别是二维材料中声子与光子耦合激发产生的声子极化激元高度局域在纳米尺度,在片上光子学的光学操控和能量传输等前沿研究领域具有极大的应用潜力。同时,光电器件制造进入纳米节点,器件应用对材料表征精度具有纳米级的要求。然而目前对声子极化激元特性分析的关键之一在于测量其干涉条纹周期,测量结果准确性依赖于仪器设备校准。因此,为实现对声子极化激元干涉条纹的精确测量,文中提出构建铬原子自溯源型光栅与二维材料的复合结构,分析金属光栅结构周期性变化对二维材料的声子极化激元耦合增强与调制作用,以及基于该原理实现对声子极化激元干涉条纹周期的精密测量。研究实现了测量干涉条纹周期为(261.01±0.34)nm的亚纳米级高精度测量,相比具有不确定度为4 nm的传统拟合测量方式具有可溯源的计量精度,同时实现了对测量仪器的亚纳米级精密校准。自溯源光栅天然溯源至基本自然常数的特性使得测量结果具备极好的准确性和可靠性,为二维材料在微纳光子学器件领域的应用提供了保障。

关 键 词:自溯源光栅  二维材料  声子极化激元  纳米计量
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