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激光跟踪干涉系统基点的直线约束标定方法EI北大核心CSCD
作者姓名:晁祥璋  刁晓飞  康岩辉  范芯蕊  雷李华  刘丽琴
作者单位:1.中国计量科学研究院几何量计量科学研究所100029;2.哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所150080;3.上海市在线检测与控制技术重点实验室201203;
基金项目:中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域项目(AKYZD2109);上海市自然科学基金项目(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1425000)。
摘    要:激光跟踪干涉系统的测量精度是工业机器人标定精度的主要影响因素,其基点标定精度决定了激光跟踪干涉系统的测量精度。为了确定基点与激光跟踪干涉系统的准确距离,提出了一种激光跟踪干涉系统基点的直线约束标定方法。建立了基于直线约束的数学标定模型,使各标定约束点分布在同一直线上,可直接应用干涉测量方法获取约束点的精确坐标,使用最小二乘法进行数值解析确定基点距离,该方法具有原理简单、误差源少、测量精度高的特性。针对影响标定精度的各项参数进行了数值仿真分析,优化标定参数,减小标定误差;最终搭建了实验装置评估该标定方法的性能,实验结果表明,激光跟踪干涉系统的基点距离平均值为290.0764 mm,标准差为4.4μm,满足对工业机器人标定的精度需求;为验证该方法的准确性,对API radian激光跟踪仪的基点距离进行比对测试,与其标称值相差3μm。

关 键 词:激光跟踪干涉系统  基点距离标定  直线约束  最小二乘法
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