| 磁控溅射法制备SnO2-CuO薄膜及其气敏特性研究 |
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| 引用本文： | 杜鹏,邱美艳,孙以材,潘国锋. 磁控溅射法制备SnO2-CuO薄膜及其气敏特性研究[J]. 半导体技术, 2007, 32(9): 781-784 |
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| 作者姓名： | 杜鹏 邱美艳 孙以材 潘国锋 |
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| 作者单位： | 河北工业大学,微电子研究所,天津,300130;河北工业大学,微电子研究所,天津,300130;河北工业大学,微电子研究所,天津,300130;河北工业大学,微电子研究所,天津,300130 |
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| 摘 要： | 用直流磁控溅射法分别在Si及陶瓷管上制备掺有CuO的SnO2纳米薄膜,并用马弗炉进行500 ℃和700 ℃的退火处理.利用气敏测试系统对各样品进行气敏特性测试,500 ℃退火的样品对几种被测气体基本都有较高的灵敏度,且随着工作温度的提升,气敏特性下降.700 ℃退火的样品对乙醇具有很好的选择性,表现较好的灵敏度,当最佳工作电压为6.5 V时,在乙醇气体小注入条件下,对样品的测试体现了样品良好的气敏特性.
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| 关 键 词： | SnO2-CuO薄膜 气敏特性 灵敏度 掺杂 |
| 文章编号： | 1003-353X（2007）09-0781-04 |
| 修稿时间： | 2006-12-01 |
Study on Gas Sensing Properties of SnO2-CuO Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering |
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| DU Peng,QIU Mei-yan,SUN Yi-cai,PAN Guo-feng. Study on Gas Sensing Properties of SnO2-CuO Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering[J]. Semiconductor Technology, 2007, 32(9): 781-784 |
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| Authors: | DU Peng QIU Mei-yan SUN Yi-cai PAN Guo-feng |
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| Affiliation: | Microelectron Research Institute, Hebei University of Technology, Tianjin 300130, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanosized SnO2-CuO thin films sensing properties sensitivity doped |
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