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| 低损耗SOI单模脊形光波导的制备 | |
| 引用本文： | 林志浪,程新利,王永进,张峰.低损耗SOI单模脊形光波导的制备[J].中国激光,2004,31(Z1). |
| 作者姓名： | 林志浪 程新利 王永进 张峰 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 摘 要： | 表面散射损耗与菲涅耳反射损耗是SOI(Silicon-on-msulator)脊形光波导的主要损耗机理.通过降低光波导损耗的研究,在厚膜SOI材料上制备了长度为20 mm,插入损耗小于2.15 dB的单模脊形光波导. |
| 关 键 词： | 集成光学 脊形光波导 波导损耗 |
Fabrication of Low Loss Single-Mode Rib Waveguides in Silicon-on-Insulator |
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