| 钛薄膜阳极氧化制备纳米孔结构TiO2 |
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| 引用本文： | 齐艳玲,朱艳兵,刘子庚,王为.钛薄膜阳极氧化制备纳米孔结构TiO2[J].电镀与精饰,2008,30(10). |
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| 作者姓名： | 齐艳玲 朱艳兵 刘子庚 王为 |
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| 作者单位： | 天津大学化工学院,应用化学系,天津,300072 |
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| 摘 要： | 采用物理气相沉积的方法,以导电玻璃为基材沉积金属Ti薄膜,并将其作为阳极,在1% HF溶液中恒压阳极氧化,制备了具有纳米孔阵列结构的TiO2薄膜.研究表明,形成的TiO2薄膜具有多孔结构,微孔均为贯穿孔,孔形基本为圆形,孔径均匀,孔径大约为50 nm.在15℃溶液中阳极氧化相同时间制备的TiO2氧化膜的厚度显著大于25℃溶液制备的氧化膜厚度.TiO2氧化膜的厚度随着阳极氧化时间的延长而增加.
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| 关 键 词： | 物理气相沉积 金属钛薄膜 阳极氧化 TiO2纳米孔阵列 |
Fabrication of Nano-pore Array Structure TiO2 by Anodizing of Titanium Film |
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| QI Yan-ling,ZHU Yan-bing,LIU Zi-geng,WANG Wei.Fabrication of Nano-pore Array Structure TiO2 by Anodizing of Titanium Film[J].Plating & Finishing,2008,30(10). |
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| Authors: | QI Yan-ling ZHU Yan-bing LIU Zi-geng WANG Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PVD titanium film anodizing TiO2 nano-pore array |
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