锂离子注入石英玻璃光波导 |
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引用本文: | 鲁平,李仪,范俊清,许承杰.锂离子注入石英玻璃光波导[J].光电子.激光,1990(6). |
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作者姓名: | 鲁平 李仪 范俊清 许承杰 |
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作者单位: | 中国科学院长春物理所
(鲁平,李仪,范俊清),中国科学院长春物理所(许承杰) |
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摘 要: | 本文报道我们用锂离子注入方法在熔融石英玻璃衬底上制备的低损耗单模光波导的实验结果.注入离子的能量和剂量分别是130KeV和1×10~(15)离子/cm~2。用抛物线分布,由模有效折射率确定了离子注入波导的参数.锂离子注入石英玻璃光波导的最大折
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