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| 利用原位压痕技术表征原子层沉积Al2O3超薄纳米薄膜的力学性能 | |
| 作者姓名： | 刘律宏 刘燕萍 马晋遥 桑利军 程晓鹏 张跃飞 |
| 作者单位： | 太原理工大学机械与运载工程学院,太原030024;北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京100124;太原理工大学机械与运载工程学院,太原,030024;北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京,100124 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 原子层沉积 Al2O3薄膜 原位纳米压痕 力学性能 弹性模量 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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