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| xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的横向压电特性 | |
| 作者姓名： | 孙科学 常月欣 成谢锋 |
| 作者单位： | 南京邮电大学电子与光学工程学院,南京210023;江苏省射频集成与微组装工程实验室,南京210023;南京邮电大学电子与光学工程学院,南京,210023 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;南京邮电大学自然科学研究项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 射频磁控溅射沉积 薄膜 有效横向压电特性 悬臂梁 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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