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| 走在成品率前沿的KLA-Tencor | |
| 作者姓名： | 王志华 |
| 摘 要： | IC制造商在提高盈利水平、缩短产品周期的同时，面临着不断增加的制造复杂性和成品率的压力。如何在重要工艺步骤之后的生产线中集成缺陷检侧和管理的功能？如何在更严苛的设计规则下分类缺陷？这些都是困扰Fab的难题。KEA-Tencor中国技术总监任建宇表示，“在良率管理与工艺控制方面，KLA—Tencor致力于提供最优的成品率解决方案。” |
| 关 键 词： | 成品率 产品周期 工艺步骤 设计规则 技术总监 工艺控制 制造商 复杂性 |
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