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氧气流量对电弧离子镀制备氧化铬薄膜结构及摩擦学性能的影响
引用本文:廖孟德,许文举,吉利,刘晓红,孙初锋,李红轩. 氧气流量对电弧离子镀制备氧化铬薄膜结构及摩擦学性能的影响[J]. 表面技术, 2021, 50(5): 168-176. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.05.018
作者姓名:廖孟德  许文举  吉利  刘晓红  孙初锋  李红轩
作者单位:西北民族大学 化工学院,兰州 730030;中国科学院兰州化学物理研究所 中国科学院材料磨损与防护重点实验室,兰州 730000;中国科学院兰州化学物理研究所 中国科学院材料磨损与防护重点实验室,兰州 730000;西北民族大学 化工学院,兰州 730030
基金项目:国家自然科学基金(51975561);国家民委中青年英才计划项目(XBMU-2019-AB-32);兰州市城关区科技计划项目(2018KJGG0020)
摘    要:目的 研究氧气流量对多弧离子镀制备的氧化铬薄膜结构、力学性能以及摩擦学性能的影响.方法 采用多弧离子镀技术在不同氧气流量下(70、90、110、130、150 mL/min)在Inconel718高温合金表面制备了氧化铬薄膜.利用扫描电子显微镜、冷场发射扫描电镜分别分析薄膜的表面形貌与断面形貌.利用X射线衍射仪和Ram...

关 键 词:氧气流量  多弧离子镀  氧化铬  宽温域  摩擦学性能
收稿时间:2020-08-24
修稿时间:2020-12-21

Effect of Oxygen Flow Rate on Structure and Tribological Properties of Chromium Oxide Films Prepared by Arc Ion Plating
LIAO Meng-de,XU Wen-ju,JI Li,LIU Xiao-hong,SUN Chu-feng,LI Hong-xuan. Effect of Oxygen Flow Rate on Structure and Tribological Properties of Chromium Oxide Films Prepared by Arc Ion Plating[J]. Surface Technology, 2021, 50(5): 168-176. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.05.018
Authors:LIAO Meng-de  XU Wen-ju  JI Li  LIU Xiao-hong  SUN Chu-feng  LI Hong-xuan
Affiliation:School of Chemical Engineering, Northwest Minzu University, Lanzhou 730030, China;Key Laboratory of Science and Technology on Wear and Protection of Materials, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China
Abstract:
Keywords:oxygen flow rate   arc ion plating   chromium oxide   wide temperature range   tribological properties
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