| 晶面及液体环境对氧化镓研磨过程摩擦学特性的影响研究 |
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| 引用本文： | 冯伟,周海,黄传锦,徐晓明,徐彤彤,夏斯伟,赵雪雅,卢文壮.晶面及液体环境对氧化镓研磨过程摩擦学特性的影响研究[J].表面技术,2021,50(5):192-197. |
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| 作者姓名： | 冯伟 周海 黄传锦 徐晓明 徐彤彤 夏斯伟 赵雪雅 卢文壮 |
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| 作者单位： | 盐城工学院 机械工程学院,江苏 盐城 224051;南京航空航天大学 江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京 210016;盐城工学院 机械工程学院,江苏 盐城 224051;南京航空航天大学 江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京 210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51675457);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目资助;江苏省高校优秀科技创新团队(2017_33) |
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| 摘 要： | 目的 探讨具有各向异性的氧化镓晶片不同晶面的研磨加工差异.方法 通过化学气相沉积法制备了高质量的自支撑金刚石厚膜,采用扫描电镜及拉曼光谱对其进行表征,将其作为摩擦副材料,在三种不同液体环境下研磨 β-Ga2O3晶片的(100)晶面及(010)晶面,比较摩擦学特性的差别.借助三维扫描系统、扫描电镜及EDS能谱,观察与分析了加工后的氧化镓及自支撑金刚石厚膜的表面形貌、成分及磨损机理.结果 (100)晶面及(010)晶面在去离子水环境中的摩擦系数最大,而当液体环境为乙二醇及三乙醇胺溶液时,研磨过程中形成了很薄的化学反应膜,减少了犁沟效应,摩擦系数较小.且在液体环境为三乙醇胺时,加工后氧化镓晶片的(100)晶面及(010)晶面的粗糙度最小.研磨加工后,(010)晶面比(100)晶面的表面粗糙度(Ra)小.结论 (010)晶面与(100)晶面在不同液体环境下研磨加工存在一定的差异性,(010)晶面比(100)晶面更易获得较好的表面质量.加工过程中,磨损机理为先产生二体磨损,一段时间后再形成三体磨粒磨损.
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| 关 键 词： | 氧化镓晶体 晶面 研磨 自支撑金刚石厚膜 摩擦系数 |
| 收稿时间： | 2020/3/22 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2020/6/15 0:00:00 |
Study on the Influence of Crystal Surface and Liquid Environment on the Tribological Properties of Gallium Oxide During Lapping |
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| FENG Wei,ZHOU Hai,HUANG Chuan-jin,XU Xiao-ming,XU Tong-tong,XIA Si-wei,ZHAO Xue-y,LU Wen-zhuang.Study on the Influence of Crystal Surface and Liquid Environment on the Tribological Properties of Gallium Oxide During Lapping[J].Surface Technology,2021,50(5):192-197. |
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| Authors: | FENG Wei ZHOU Hai HUANG Chuan-jin XU Xiao-ming XU Tong-tong XIA Si-wei ZHAO Xue-y LU Wen-zhuang |
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| Affiliation: | School of Mechanical Engineering, Yancheng Institute of Technology, Yancheng 224051, China;Jiangsu Key Laboratory of Precision and Micro-manufacturing Technology, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | gallium oxide crystal crystal surface lapping self-supporting diamond thick film friction coefficient |
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