| 多阶柱状微电极加工模型及试验研究 |
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| 引用本文： | 刘勇,曾永彬,余宏兵,朱荻. 多阶柱状微电极加工模型及试验研究[J]. 机械工程学报, 2011, 47(17). DOI: 10.3901/JME.2011.17.164 |
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| 作者姓名： | 刘勇 曾永彬 余宏兵 朱荻 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学机电学院 南京210016;山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心 威海264209
2. 南京航空航天大学机电学院 南京210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50635040); 国家高技术研究发展计划(863计划,2009AA04Z302); 江苏省自然科学基金(BK2008043)资助项目 |
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| 摘 要： | 为实现微电极的精确控制加工,对微细电极电化学刻蚀制备技术进行深入研究。针对单阶柱状电极的不足,分析多阶柱状微电极的加工原理及制备流程。针对分阶电极加工中的三种刻蚀状况,分析各段的刻蚀变化率,并由此推导出电极尺寸与形状控制函数。通过试验证实刻蚀过程中电流密度的不变性,讨论不同电流密度对电极直径的影响规律。通过试验归纳,建立加工电压、电流密度、浸入深度三者之间对应的函数关系,验证电极直径随时间呈线性变化的正确性。基于上述两组模型函数,建立多阶柱状微电极的加工控制模型,并对某三阶柱状微电极的形状及尺寸进行加工预测,实际加工结果显示,试验值与理论值具有很好的一致性。在加工控制模型的指导下成功制备出一批精度高的多阶柱状微电极。
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| 关 键 词： | 微电极 柱状电极 多阶 电流密度 电极直径 |
Theoretical and Experimental Research on Fabrication of Multiple Stepped Cylindrical Micro Electrode |
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| LIU Yong,ZENG Yongbin,YU Hongbing,ZHU Di. Theoretical and Experimental Research on Fabrication of Multiple Stepped Cylindrical Micro Electrode[J]. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2011, 47(17). DOI: 10.3901/JME.2011.17.164 |
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| Authors: | LIU Yong ZENG Yongbin YU Hongbing ZHU Di |
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| Affiliation: | LIU Yong1,2 ZENG Yongbin1 YU Hongbing1 ZHU Di1(1.College of Mechanical and Electrical Engineering,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics,Nanjing 210016,2.Associated Engineering Research Center of Mechanics & Mechatronic Equipment,Shandong University,Weihai 264209) |
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| Abstract: | In order to achieve a high control accuracy of the cylindrical microelectrode processing,the electrochemical etching technology for fabrication of microelectrode is researched in depth.In view of various shortcomings of single-stepped cylindrical microelectrode,the machining principle and the processing flow of the multi-stepped cylindrical microelectrode are analyzed.According to the three distinguishable strands during the etching process,the etching variety for each stage of the microelectrode is studied... |
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| Keywords: | Micro electrode Cylindrical electrode Multiple stepped Current density Electrodes diameter |
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