| 表面等离子共振Ag/TiO2复合膜气体传感器 |
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| 引用本文： | 符运良.表面等离子共振Ag/TiO2复合膜气体传感器[J].传感器与微系统,2008,27(12). |
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| 作者姓名： | 符运良 |
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| 作者单位： | 海南师范大学物理系,海南,海口,571158 |
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| 基金项目： | 海南省自然科学基金，海南省教育厅高等学校科研项目 |
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| 摘 要： | 提出一种新型的Ag／TiO2复合膜三甲胺（TMA）气敏光化学表面等离子共振（SPR）传感器结构。结构中使用一只金红石材料作成的棱镜作为耦合棱镜，在棱镜的底边采用射频溅射技术制作Ag／TiO2复合膜，Ag膜和TiO2膜的厚度分别为50nm和100nm，在复合膜上设置待测气体的样品池。在He-Ne光入射激励下，复合膜的分界面发生SPR现象。实验结果表明：SPR角与TMA气体的体积分数基本呈线性比例关系。
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| 关 键 词： | 表面等离子共振 Ag／TiO2 复合膜 共振角 三甲胺体积分数 |
Surface plasmon resonance gas sensor with composite of Ag/TiO2 film layer |
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| FU Yun-liang.Surface plasmon resonance gas sensor with composite of Ag/TiO2 film layer[J].Transducer and Microsystem Technology,2008,27(12). |
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| Authors: | FU Yun-liang |
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