新功能材料微波与流控MEMS模拟与实践

理论分析与MEMS功能极为相关的多孔材料的若干特性；用系统的理论支持了多孔材料之引入；设计了一个微纳流控MEMS结构；研究微波／毫米波移相器的制备，给出了制备实图；然后阐述了典型结构功能分析与有限元方法结合的实践和解释，用ANSYS软件进行了模拟和比较，最后得出了有关结论。